A vákuummagnetron porlasztásos technika a női, bipoláris elektróda felületének használata az elektron mágneses terével a katódfelületi sodródásban, a célfelület elektromos mezőjének a mágneses térre merőleges beállításával az elektron növeli a löketet, növeli az ionizáció sebességét. míg a nagyenergiájú részecskék az ütközés után elgázosodnak és energiát veszítenek, és így csökken a szubsztrátum hőmérséklete, teljes bevonattal egy nem hőmérsékletálló anyagon.