Beépített porlasztórendszer
-
Inline Magnetron Sputtering rendszer
Az Inline Magnetron Sputtering rendszer egyfajta vákuum vékonyréteg-leválasztó berendezés, amely különböző célokra működik.Porlasztósorunk leggyakoribb alkalmazásai, többek között:
Alumínium tükör gyártás
- ITO üvegbevonat
- Tükröződésmentes üveg
- Dekoratív bevonatok rozsdamentes acélhoz és üveghez
Ez a bevonatrendszer kiváló minőségű vákuumbevonatokhoz alkalmas.Stabil munkateljesítményt biztosít a vákuumbevonat filmek minőségének javítása érdekében.
-
ITO Glass Magnetron porlasztó bevonatsor
Az ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line vákuummagnetron porlasztási technológiát és kiegyensúlyozatlan magnetron porlasztási technológiát alkalmaz a kiváló minőségű float üveg SO2/ITO réteggel való bevonására.Nemzetközi fejlett vezérlőrendszeren alapul.A teljes gyártási folyamat automatikusan és folyamatosan működik.
-
Alumínium Mirror Inline Magnetron Sputtering Vonal
Alumínium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line nagy teljesítményű üvegtükör gyártási célokra készült.A nagyobb üvegek bevonására és a törékeny üvegtáblák gondozására, különösen a nagy méretű lapok esetében, általában vízszintes típusú porlasztószalagot készítünk.Ez egy folyamatos magnetron bevonatsor, az elülső és a hátsó durva szivattyúkamrával, és az átmeneti kamra után, a finom szivattyúkamra előtt és után pufferkamrával, színező helyiséggel.
Célkitód: hengeres magnetron porlasztókatódok és/vagy síkkatódok.
Áramforrás: tápegység nagy teljesítményű DC vagy MF magnetron porlasztással
Hajtásrendszer: görgős hajtás, frekvencia állítható, indukciós típusú szobaajtó nyitó rendszer.
Vákuumos rendszer: diffúziós szivattyú (vagy turbó molekuláris szivattyú) + gyökérszivattyú + mechanikus szivattyú
