Alumínium Mirror Inline Magnetron Sputtering Vonal
Rövid leírás:
Alumínium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line nagy teljesítményű üvegtükör gyártási célokra készült.A nagyobb üvegek bevonására és a törékeny üvegtáblák gondozására, különösen a nagy méretű lapok esetében, általában vízszintes típusú porlasztószalagot készítünk.Ez egy folyamatos magnetron bevonatsor, az elülső és a hátsó durva szivattyúkamrával, és az átmeneti kamra után, a finom szivattyúkamra előtt és után pufferkamrával, színező helyiséggel.
Alumínium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line rendszerint több vákuumkamrával van felszerelve az üveglapok vákuumbevonatának befejezéséhez.
Főbb jellemzői:
1.Max.üvegbevonat mérete:2440x3660mm vagy testreszabott
2. Több vákuumkamra és több porlasztókamra kialakítás áll rendelkezésre
3. A vízszintes mágneses vezérlővonal egyvégű és kétvégű szerkezettel rendelkezik;üveg dupla tisztítás, bevonatolás, érzékelés, festés, szárítás, hűtés egyszerre végezhető el
4. A porlasztó bevonatsor PLC-t használ a teljes folyamat vezérléséhez, és színes képernyővel van felszerelve a bevonási folyamat adatainak megjelenítéséhez
Bevonatréteg: titán, króm, rozsdamentes acél, alumínium, ezüst, réz stb.
Vegyület: TiN, TiO2 stb.
Rétegvastagság: 5-100nm
Átvitel: 8-40% 380-780 nm hullámhosszon
Lerakódási hőmérséklet: szobahőmérséklet
Végső nyomás 8 órás leszivattyúzás után:
Bejárati zárkamra és vákuumzárkamra: 5×10-1 Pa vagy az alatt
1. pufferkamra: 3×10-3 Pa vagy az alatt
Porlasztókamra: 2×10-3 Pa vagy az alatt
2. pufferkamra: 3×10-3 Pa vagy az alatt
Kilépési zárkamra és vákuumzárkamra: 5×10-1 Pa vagy az alatt