Inline Magnetron Sputtering rendszer
Az inline magnetron porlasztó bevonógép főként egyenáramú (vagy MF) magnetron porlasztó bevonat sokféle célhoz igazítható, mint például: réz, titán, króm, rozsdamentes acél, nikkel és más fémanyagok, amelyek porlasztási eljárással bevonhatók javíthatja a film tapadását, reprodukálhatóságát, sűrűségét, egyenletességét és egyéb jellemzőit.
- a.Az alapvető jellemzők és paraméterek
- b.vízszintes vonalas szerkezet egyszerre valósítható meg egyik oldalon bevonva
- c.termelési hatékonyság, a leggyorsabb sebesség akár 1 perc/ütés
- d.moduláris felépítés, egyszerű karbantartás
- e.bevonási folyamat érettsége, magas hozam
- f.Az egyenáramú magnetron porlasztó katódok az ügyfelek igényeitől függően változhatnak
- g.vákuumrendszer egy mechanikus szivattyúból, Roots szivattyúkból, diffúziós szivattyúkból (molekuláris szivattyú) áll
- h.A vonaltest mérete az ügyfél igényeitől függően változhat
- 1) A vákuumkamra test anyagok SUS304, polírozás vákuumkamra fal kezelés, a külső fal spray polírozó gyöngyök feldolgozása.
- 2) A vákuumkamra és a csappantyús szelep közötti független tolózár segítségével hatékonyan le lehet vágni, stabilizálni a folyamatgázt.Jelenleg cégünk a csappantyús szelep kialakítását alkalmazza, jobban tömít, tartósabb, mint a jelenlegi hazai közös csappantyús szelep.
- 3) A sebességváltó mágneses vezetőt használ, védi a meghajtó stabilitását.A VVVF motorhajtással a teljes gyártósor minden sebességéhez beállítható a futási sebesség.
- 4) Elektromos vezérlőrendszer: Érintőképernyő és PLC automatikus vezérlés, ember-gép párbeszéd az adatkijelző rendszer eléréséhez, működési paraméterek és vezérlési technológia
- 1) Végső vákuumnyomás: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) az átlagos termelési ciklus: a meghatározott termék szerint
- 3) Az aljzattartó mérete: testreszabható a követelményeknek megfelelően
- 4) Film egyenletessége: ± 3%-os fejlett mobil terepi technológia nagymértékben javította a célkihasználást
- A szegmentált fűtőberendezés kialakítása elősegíti a folyamatok optimalizálását.
Írja ide üzenetét és küldje el nekünk
